三維表麵形貌測量儀InfiniteFocus G5

自動變焦三維表麵形貌測量儀InfiniteFocus G5是奧地利Alicona公司研發生產的集微型三坐標測量和表麵形貌測量於一體的光學測量係統。

自動變焦三維表麵形貌測量儀InfiniteFocus G5的突出特點：

一款*的3D光學測量儀

InfiniteFocus G5整合了微型三坐標測量係統和表麵粗糙度測量係統所有的功能。

萬能和高效

LED環形燈的設計，使表麵測量的範圍幾乎不受限製。

高分辨，高可重複性和可溯源

即使對於複雜樣品表麵，仍可以獲得高達10納米的垂直分辨率

高測量速度

InfiniteFocus的測量速度可以達到170萬點/秒。

模塊化和可擴展性

新的功能可以很容易通過擴展測量模式整合

全自動

測量簡單且自動化程度高，如自動更換物鏡等

自動變焦三維表麵形貌測量儀InfiniteFocus G5的主要技術參數：

位移範圍（X軸、Y軸、Z軸）：100mm×100mm×100mm

樣品表麵結構：表麵形貌Ra＞9nm，Lc=2µm，取決於表麵結構

zui大樣品高度：100mm ～ 345mm

zui大樣品重量：30kg

*水平分辨率：0.44µm

*垂直分辨率：10nm

zui大掃描高度：22.5mm

zui大擴展視野範圍：10000mm2

zui大單一方向掃描範圍：100mm

測量速度:170萬個測量點/秒

zui小測量高度：0.01µm

zui大測量高度：22.5mm

zui大測量範圍：10000mm2

zui大測量形貌長度：100mm

zui小可重複性：0.001µm

zui小測量粗糙度（Ra）：0.03µm

zui小測量粗糙度（Sa）：0.015µm

zui小測量半徑：1µm

zui小測量垂直角度：20°

zui大測量傾斜角度：87°

自動變焦 G5比InfiniteFocus G4擁有更優越的性能

測量速度增加20倍

自動設置

適用更多材料及更複雜表麵的測量

更穩定，更精密的測量

測量精度更高，尤其對於大範圍麵積樣品的測量